Kashiyama坚山LEH50MS干式真空泵维修保养全指南

Kashiyama（坚山）LEH50MS干式真空泵以其卓越的性能和可靠性，广泛应用于半导体、电子、光伏、科研及工业真空领域。任何精密设备都需要定期的维修与保养，才能确保其长期稳定运行，延长使用寿命并预防突发故障。本文将为您详细解析LEH50MS干式真空泵的常见故障、维修方法及系统保养流程。

一、常见故障诊断与维修

1. 抽速下降或极限真空度变差

• 原因：泵内转子磨损、密封件老化、进气口过滤器堵塞、管路泄漏。

• 维修：检查并更换进气过滤器；使用氦质谱检漏仪查找漏点；若转子间隙超标，需由专业技术人员调整或更换转子组件。

1. 异常噪音或振动

• 原因：轴承磨损、齿轮损伤、转子动平衡破坏、异物进入泵腔。

• 维修：停机后拆解泵体，检查轴承和齿轮磨损情况，更换损坏部件；清理泵腔异物并重新做动平衡校正。

1. 泵体过热

• 原因：冷却水路堵塞、冷却水温度过高、环境温度超标、散热风扇故障。

• 维修：清洗冷却水套及管路，确保水流量充足；检查冷却水循环系统；清理风扇及散热片积尘。

1. 无法启动或频繁跳闸

• 原因：电机故障、电源缺相、控制器损坏、内部卡死。

• 维修：检查电源及接线；测量电机绝缘电阻；若控制器故障，需更换原厂控制模块。

二、预防性保养计划（日常/季度/年度）

• 每日检查：监测泵的运行电流、温度、噪音及真空度；检查冷却水流量和油雾分离器状态（若配油雾过滤器）。
• 每季度保养：清洁或更换进气过滤器；检查并紧固电气连接；检查密封圈老化情况；清理泵体外部灰尘。
• 年度大保养：更换全部轴承、密封件、齿轮油（若适用）；清洗泵腔和转子；校验真空传感器；进行整机性能测试。

注意：干式真空泵无需真空泵油，但需定期补充轴承润滑脂。请使用Kashiyama指定的润滑脂型号。

三、维修保养所需工具与备件

• 专用工具：转子拉马、轴承拔出器、千分尺、扭矩扳手。
• 常用备件：进气过滤器、排气过滤器、轴承、密封圈、齿轮、润滑脂、控制器。

四、专业维修与自行保养的界限

建议用户执行日常点检和外围保养（如更换过滤器、清洁散热器）。若涉及泵体拆解、转子更换、动平衡校正等，务必联系Kashiyama授权服务中心或具有干式泵维修资质的专业机构。非专业拆解可能导致装配精度下降、真空性能不可逆衰减，且可能丧失原厂保修。

五、

Kashiyama LEH50MS干式真空泵是精密的生产设备，科学的维修保养不仅能减少意外停机，还能显著节约生产成本。建议用户建立完善的保养档案，并严格遵循厂家手册的维护周期。若您遇到疑难故障，可联系Kashiyama技术支持或国内专业真空泵维修服务商，获取原厂备件与专业维修方案。